cg电子

    2 PORT EFEM_EFEM_cg电子半导体设备(上海)有限公司

    2 PORT EFEM
    EFEM
    产品特点
    12”标准机型，可兼容8”产品（通过Adapter）
    采用双臂拟似多轴功能机械手
    材料符合RoHS规范，洁净度最高可达ISO Class 2
    多种传感器等监测元件，实时检测设备状态
    即时摄像监控，各种条码、二维码、字符码识别，完整追踪生产过程
    提供客制化晶圆搬送需求