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      3 PORT EFEM_EFEM_cg电子半导体设备(上海)有限公司

      3 PORT EFEM
      EFEM
      产品特点
      12”标准机型，可兼容8”产品（通过Adapter）
      采用双臂拟似多轴功能机械手
      材料符合RoHS规范，洁净度最高可达ISO Class 3
      多种传感器等监测元件，实时检测设备状态
      即时摄像监控，各种条码、二维码、字符码识别，完整追踪生产过程
      提供客制化晶圆搬送需求