STK 1150
半自動LED UV照射機
特徴です
ワークの仕様：6”〜12”Frame＆Waferに対応可能
UV ユニット：LED UV モジュール 1 セット
UV 波長：365nm
UV 照射エネルギー：50～500mW/cm2で、照射エネルギーをリアルタイムで監視でき、エネルギーはプログラムで調整可能
UV 照射均一性：±10% 以下
UV 照射時間：0～999secにて、プログラムより設定可能
スキャン速度：0～100mm /sにて、プログラムより設定可能
ランプハウス温度：ランプヘッドとランプハウスの温度をリアルタイムで監視
UV ランプタイプ：LED 型の冷光源で、強いエネルギー、長寿命、低いエネルギー消費量、少発熱量が実現
制御ユニット：PLC とタッチパネル
ロード/アンロード：手動
電源：単相 220V, 10A
ガス：N₂（オプション）
外観：白色塗装外殻
サイズ：870mm(幅) x 1080mm(奥行き) x 1170mm(高さ)
本体重量：约220kg