JEL SWCR3160CS
晶圆搬运机械手臂
3轴圆柱坐标洁净机械手臂 (防水式）
产品特点
防水3轴圆柱坐标型机械手臂SWCR3000系列（配备300mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构）
在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性，碱性环境下搬运半导体晶圆
手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性
手臂关节部位防水结构使用V型密封圈
零件之间的结合面采用Viton材质的密封条
Z轴的防水结构可以使用蛇腹管
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式： 真空吸附式，下托式，边缘夹持式
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供手指