JEL GCR4210
晶圆搬运机械手臂
4轴水平多关节型洁净机械手臂
产品特点
SVCR3000シリーズ＆スーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット
300 mm対応の半導体製造装置内や検査装置等のウェーハ搬送に適用
アームバリエーション: 210mm, 280mm
ロボットが水平に配置された2個のFOUPに対応可能
装置に合わせたベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能
動作モニター装備
制御方式：RS232C及びパラレルフォトI/O
アブソリュートエンコーダを搭載していた全軸ACサーボモータ使用
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送
ウェーハ保持：真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック、ベルヌーイチャック
チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対応可能
被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能